高质量发展|好消息!国产半导体设备“破冰”,最低支持5nm工艺( 二 )



一片花飞减却春 , 风飘万点正愁人 。 在芯片切割设备方面 , 仅仅一家中国轨道交通信息技术研究院是远远不够的 , 那么 , 在这方面 , 身为制造业大国 , 究竟还有哪些成就呢?
我国在芯片切割设备上还有哪些成就?2019年12月6日 , 北京中电科正在对12英寸晶圆划片机进行组装和测试 , 据说还有检测刀体破损以及刀痕等先进功能 , 这个划片机的性能指标已经达到了国外同类产品的先进水平 , 2019年还没有正式量产 , 北京中电科就已经拿到了13台这种设备的订单 。

除此之外 , 在这一领域中做出辉煌成绩的还有我国的京创先进 , 经过了数十年技术的积累 , 京创先进成功研制并且量产了AR3000、AR6000、AR7000、AR8000系列6-12英寸精密切割机 , 这些切割机产品据说可以适用于半导体领域不同材料的复杂切割 , 比如集成电路 , 比如氮化镓芯片 , 比如LED封装等等 。
在晶圆切割方面 , 我国还有一个和研科技 , 据说和研科技有一台用于12英寸晶圆划片制程的DS9260型全自动晶圆划片机 , 实习了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片 , 这样一个全流程的自动化操作 , 强劲的实力也是可见一斑的 。

总结经过了多年的努力 , 我国在纳米芯片级别晶圆切割设备上终于突破了重重的坚冰 , 实现了历史性的破局 。 这对于我国而言 , 带来的影响和好处也是极大的 , 对于我国而言 , 带来的意义也是深远而又巨大的 。
芯片属于高端科技 , 我国要想实现国产化就需要将各个环节都进行烙上中国制造的印记 , 期待着未来我国不仅仅在晶圆切割方面 , 甚至在芯片生产全流程上面 , 也能涌现出越来越多的中国制造 。

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