【波导|华林科纳----湿法蚀刻制造的GaN基蓝色超辐射LED】
图4(a)探测器设置示意图和(b)作为+c面和背面面内测量电流函数的光谱积分强度
总之 , 使用新颖的选择性化学蚀刻工艺制造的非极性m-平面蓝色SLD被证明是可行的 。 SLD制造只需要在标准m面LD制造工艺结束时添加一次额外的化学蚀刻 。 l–I特性显示强度作为电流的函数呈指数增长 , 输出功率达到5 mW , 光谱宽度为9 nm , 峰值波长为439 nm , 在100毫安(4.76 kA/cm2)左右开始超发光 。
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