人机大战|光刻机风云再起:东方晶源深夜回应ASML,EUV光刻机“变味”了!( 二 )



而这样的话 , 那么在7纳米工艺上 , 就能让EUV光刻机“变味”了 , 也就是说 , 就可以不采用EUV光刻机 , 使用DUV光刻机也能保证良品率 , 从而有效的控制住成本 。

这样的话 , 毫无疑问 , 将会对ASML的EUV光刻机销售造成直接的影响 。

因此虽然ASML的EUV光刻机还不能出售给中芯国际 , 但是如果在良品率上得到有效控制 , 采用DUV光刻机 , 也可以实现在可控成本下的规模量产 , 这算是中芯的一个B方案 。

总之既然ASML如此在乎东方晶源 , 那么我们有理由相信 , 在良率控制方面 , ASML已经感受到了威胁 , 不过这对我们国产芯片制造来说 , 无疑会是一个好消息 , 对此大家怎么看呢?

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