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近日 ， 突然被一则光刻机巨头ASML ， 高调指责中国高科技企业东方晶源侵犯知识产权的消息刷屏 ， 当看到这则消息的第一反应就是 ， 东方晶源是谁？
在我们的印象中 ， 中国在从事光刻机设备研发的企业中 ， 似乎并没有看到东方晶源的身影 ， 而且目前我们国产的光刻机 ， 最先进的机型 ， 也只是来自上海微电子的SSA600/20 ， 但也只是支持到90纳米 。
因此要说在光刻机上会侵犯ASML的知识产权 ， 这事有点匪夷所思 。
经过了解得知 ， 东方晶源并不是一家光刻机的研发生产企业 ， 但是它提供的服务 ， 却与芯片的生产制造有着密切的关系 。
简单来说 ， 东方晶源的主营业务 ， 就是帮助芯片生产企业提高良品率 。
那么问题来了 ， 为什么ASML会突然对这样一家企业挥出“大棒”呢？要知道ASML已经通知客户 ， 不要与东方晶源进行合作 ， 指责东方晶源侵权 。
更为关键的是 ， ASML在发起了这一系列动作时 ， 其并没有任何证据来证明它的主张 ， 即ASML只是怀疑东方晶源侵权 。
就在ASML挥出“大棒”之后 ， 东方晶源很快在深夜进行了回复 ， 并且正式发布声明 ， 该消息不实 ， 而且东方晶源还表示 ， 对于不实消息 ， 将保留追究其法律责任的权利 。
很显然 ， 东方晶源并没有被ASML所吓倒 。
那么更大的问题来了 ， 为什么ASML在没有任何证据的情况 ， 就急于阻碍东方晶源的发展呢？
答案 ， 或许就在东方晶源的主营业务上 。
上文中我们提到 ， 东方晶源的主营业务是帮助芯片厂家提升良品率 ， 目前东方晶源已经掌握了OPC、EBI和CD-SEM三大产品 ， 可以说在良率管理领域有着深厚的功底 。
那么 ， 这又会对ASML产生什么影响呢？其实影响很大 ， 而且已经影响到了ASML的“镇店之宝” ， 也就是EUV光刻机 。
说到这里 ， 我们就有必要将台积电的7纳米工艺拿来进行说明 ， 台积电在2018年成功量产了7纳米工艺 ， 但是第一代产品采用的依然是DUV光刻机 ， 第二代工艺才是采用的EUV光刻机 ， 那么为什么台积电不继续采用DUV光刻机呢？
其中的关键 ， 就是我们上面说的良品率 。
【人机大战|光刻机风云再起：东方晶源深夜回应ASML，EUV光刻机“变味”了！】采用DUV光刻机虽然可以生产7纳米芯片 ， 但是需要很多次的重复曝光 ， 曝光次数越多 ， 对于良品率的控制就越难 ， 相应的成本就会越高 。
但采用EUV光刻机后 ， 就可以大幅减少曝光的次数 ， 相应的就从侧面提升了良品率 。
有人会说 ， EUV光刻机要比DUV贵不少 ， 用EUV光刻机生产7纳米芯片岂不是成本更高了？其实对于芯片制造工厂来说 ， 流水线上的光刻机就像“印钞机” ， 机器的采购价格往往不是最重要的因素 。
而在台积电5纳米工艺的初期 ， 虽然也采用了EUV光刻机 ， 但良品率也才只有50% ， 后来经过继续提升良品率才得以规模量产 ， 可见控制良品率是多么的关键 。
因此从这一点上我们就看到 ， 东方晶源的作用有多么重要 ， 这次ASML对东方晶源这么在意 ， 想必东方晶源已经在良品率控制方面做得非常优秀了 。
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